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关于广东省科技项目成果登记的公示
发布日期：2026-07-31
根据广东省重大科技成果登记核准有关规定，现将2026年结题的广东省科技计划项目“六英寸碳化硅晶圆高温氧化炉多片机研发”的科技成果登记材料予以公示如下（见附件）。
公示时间为2026年8月3日-8月11日（共7个工作日），对公示信息有异议者，可通过来信、来访等形式向学院反映。反映情况和问题须签署真实姓名，否则不予受理。
联系人：夏天
联系电话：020-39943312
电子邮箱：seitky@mail.sysu.edu.cn
附件：六英寸碳化硅晶圆高温氧化炉多片机研发-科技成果登记表
中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）
2026年7月31日